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干式螺杆真空泵是较全详细的

时间:2022-05-20 人气: 来源:信息编辑


干式螺杆真空泵是干式泵系列之一。所谓的干式真空泵,在泵的泵流道中,不能使用任何油和液体,排气口与大气相连,可以直接连续排放到大气中。干式真空泵在泵中没有液体工作介质或密封介质,从根本上解决了油封真空泵引起的各种问题。


干式螺杆真空泵出现于20世纪90年代初。由于其抽速范围广、结构简单紧凑、泵腔无摩擦元件、能耗低、无废液排放、运行成本低等一系列优点,广泛应用于半导体、光伏工业、化工、医药、石化、空间模拟、低压风洞等领域。


干式螺杆真空泵是由一对同步齿轮驱动的反向旋转螺钉。螺钉和螺钉之间,螺钉和泵腔之间有一定的间隙,金属和金属之间没有任何接触。因此,在旋转过程中,螺钉将从进气口吸入并排放到排气口。根据螺杆类型,干式螺杆真空泵可分为等螺距和可变螺距,可变螺距可分为两种类型:不同尺寸的螺距和螺距的连续变化。

从左到右:等螺距,变螺距(二段拼成),螺距连续变化(整体)不同的螺杆设计。


干式螺杆真空泵零件少,无易损件,运行可靠,使用寿命长,操作维护方便;


由于采用变螺距结构,比等螺距螺杆可节省30%的能耗,排气温度较低;


干式螺杆真空泵无不平衡惯性力,机器运行平稳高速,噪音低;


具有强制输气的特点,在宽压范围内可保持较高的抽速,排气量几乎不受排气压力的影响;


由于干螺杆真空泵转子齿表面之间有一个小间隙,可以去除腐蚀性、有毒、含有灰尘、冷凝蒸汽等气体,小颗粒不易积聚,泵腔内的残留物也容易去除;


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